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飛秒激光微加工中熱熔化與熱傳遞現(xiàn)象研究
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國家自然科學(xué)基金資助項目（50475069);國家科技重大專項基金資助項目（2009ZX04014—23）;西安交通大學(xué)機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室開放基金資助項目（2010006）


Thermal Diffusion and Thermal Melting in Femtosecond Laser Micromachining
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    對飛秒激光能量密度為0.108~28.68J/cm2范圍內(nèi)加工的硅孔表面形貌尺寸進行分析，同時對熱傳遞現(xiàn)象進行研究。理論分析了飛秒激光加工區(qū)域熱傳導(dǎo)時間及溫度分布，并將其與實驗測量值進行對比，驗證了熱影響的存在。通過理論與實驗分析說明了在高能量飛秒激光加工中熱傳遞現(xiàn)象不可避免，并獲得了較好的孔加工質(zhì)量的激光能量合理參數(shù)。

    Abstract:

    Diameters of morphology zones of crater processed by femtosecond laser were measured in the range of laser fluence from 0.108J/cm2 to 28.68J/cm2. Thermal melting on the surface of a hole and the heat conduction rule were studied. The melting zones were calculated according to the traditional thermal conduction formula. The calculated results matched with the experiment results very well. It suggested that the thermal diffusion in super power femtosecond laser micromachining was inevitable. Besides, reasonable parameters were acquired for the better quality of the micro-holes.

    參考文獻
    相似文獻
    引證文獻
引用本文

苗恩銘,陳甦欣,牛鵬程,顏焱,費業(yè)泰.飛秒激光微加工中熱熔化與熱傳遞現(xiàn)象研究[J].農(nóng)業(yè)機械學(xué)報,2011,42(4):224-228. Miao Enming, Chen Suxin, Niu Pengcheng, Yan Yan, Fei Yetai. Thermal Diffusion and Thermal Melting in Femtosecond Laser Micromachining[J]. Transactions of the Chinese Society for Agricultural Machinery,2011,42(4):224-228.

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